模块化洁净室通过一系列高效且精细的过滤净化机制来确保室内空气的洁净度。以下是其过滤净化空气的主要步骤和原理:
一、密闭空间与微正压环境
密闭空间:模块化洁净室的顶部、地板以及四周板材共同组成一个密闭的空间,有效隔绝外部脏空气和污染源。
微正压环境:室内维持一定的微正压,确保即使与外界有微小缝隙,脏空气也不会流入室内,进一步增强了洁净室的密封性和洁净度。
二、空气过滤系统
风机滤网机组(FFU):模块化洁净室的顶部设置FFU,通过风机将室外空气吸入。
初效过滤器:对吸入的空气进行初步过滤,去除较大的颗粒物和尘埃。
高效过滤器:经过初效过滤后的空气再通过高效过滤器进行深度净化,去除微小的颗粒物、细菌、病毒等,确保吹入室内的气流具有高洁净度。
三、送风模式与气流流型
单向流送风模式:对于需要高洁净度等级(如百级以上)的模块化洁净室,采用单向流送风模式,即活塞式送风。FFU满布于顶部,高架地板用于回风,形成垂直单向气流,将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。
非单向流送风模式:对于洁净度要求稍低(如千级以下)的模块化洁净室,采用非单向流送风模式。侧面回风面板或回风柱用于回风,形成较为均匀的气流分布,同时需要达到一定的换气次数以满足洁净度要求。
四、辅助净化设施
风淋室、货淋室、传递窗:用于对进入模块化洁净室的人员和货物进行净化处理,防止带尘进入。
小型净化设备:如洁净工作台、洁净棚、层流罩等,用于局部高洁净度要求的工艺操作。这些设备同样采用初效和高效过滤器进行空气净化,并形成一定的送风模式。