模块化洁净室的过滤系统如同"环境净化器",通过多级精密过滤网络确保空气洁净度。其核心是采用初效、中效、高效(HEPA)或超高效(ULPA)三级过滤体系,层层拦截不同粒径的微粒。
初效过滤器采用无纺布或金属网材质,主要过滤5μm以上的大颗粒物,如毛发和灰尘,保护后续高级过滤器免受大颗粒污染。其过滤效率达90%以上,可水洗重复使用,大幅降低运行成本。
中效过滤器由玻璃纤维或合成材料制成,能捕捉1-5μm的颗粒,包括花粉和细菌载体。采用袋式结构设计,容尘量是平板式的3-5倍,配合模块化洁净室特有的V型安装架,更换仅需2分钟。
HEPA过滤器对0.3μm颗粒过滤效率达99.97%,ULPA过滤器更可达99.9995%。通过熔喷玻璃纤维形成的迷宫式结构,配合模块化洁净室特有的均流送风系统,能稳定维持ISO 5级(百级)至ISO 8级(十万级)洁净标准。
现代模块化洁净室配备压差传感器和粒子计数器,实时监测过滤器状态。当阻力达到设定值或粒子数超标时,自动提醒更换,确保过滤效能持续达标。部分高端系统还能通过AI算法预测滤芯寿命,精准规划维护周期。