什么是半导体洁净室内的DCC?

材料来源：半导体   芯盟

🚀什么是DCC：

• 在半导体项目洁净室中，DcC通常指干盘管(Dry Cooling Coil)。以下是关于它的介绍: 

✅工作原理：

• DCC内通以中温冷冻水，当回风或室内空气流经千盘管时，空气与盘管内的中温冷冻水进行热交换，空气的热量被中温冷冻水带走，从而降低空气温度，达到去除室内显热负荷的目的，保证室内温度稳定。在运行过程中，盘管表面温度高于空气露温度，不会产生冷凝水，所以称为干盘管。

✅作用：

• 精确控温:在半导体生产中，对环境温度要求极为严格，DCC能精确控制洁净室内温度，确保生产工艺在稳定的温度条件下进行，减少温度波动对半导体制造过程的影响，提高产品质量和良品率。

• 配合系统运行:与MAU(组合式新风机组)、FFU (风机过滤器单元)共同构成MAU+FFU+DcC洁净空调系统。MAU负责引入新风、控制温湿度和维持正压，FFU保证空气洁净度，DcC则承担去除显热的任务，三者协同工作，为半导体生产提供工艺环境。 

✅应用特点: 

• 高效节能:DcC通过合理设计和选型，来有效的控制管道的风阻、水阻、和管道换热效率，实现高效节能运行。

• 安装灵活:可根据洁净室的布局和空间要求，灵活安装在回风夹道、技术夹层或吊顶内等位置，不占用过多的生产空间且便于维护和检修。

• 降低湿度风险:由于不产生冷凝水，避免了因冷凝水排放不畅或滋生细菌等问题导致的洁净室湿度增加和微生物污染风险，有助于维持洁净室的高洁净度环境。

来源：半导体   芯盟